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	Perlast 半導体製品カタログ　日本語版
	コインスタック（シッパーケース）梱包、開梱装置 技術説明：コインスタック梱包、開梱
	薄型ウェハー搬送装置 技術説明：薄型ウェハー搬送装置
	エンドイフェクター 技術説明：極薄ウェハー搬送エンドイフェクター