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英国Perlast（パーラスト）社

Perlast は、繊細さが要求されるプロセスにおいて優れたパフォーマンスとより高い機能性を備えた最高のシールソリューションを達成するため、特別に開発された素材を用い、エラストマー技術をリードし続けます。
Perlastのシール材は、コンタミを低減する一方で、優れた耐薬品性を持ち、ウェットおよびドライの両ウェハープロセスにおいてシールライフを延長させます。

高純度シール材質

パーフロロエラストマーで利用されていた従来のフィラーは、第2族元素や遷移金属などの不純物を含んだ化合物を元にすることが多々ありました。さらに、従来のフィラーパーティクルサイズは、一般に500~50,000 nmでした。この種の比較的大きなフィラーパーティクルは、襲撃性のある気体やプラズマ、高温に曝された後、プロセスチャンバー内に放出され、ウェハの不良を引き起こすことがあります。
Perlastでは最適な化学成分と管理された生産技術を組み合わせたことで、優れた抽出率が得られます。


FFKM 材質　従来のフィラー材質SEM		G67PパーフロロエラストマーのSEM		K13X（フィラーフリー）表面のSEM写真

低アウトガス

熱重量分析(TGA)は、エラストマーの時間的な重量ロス、または温度レンジ変化に対する重量ロスを測定する高精度な方法です。ここでは、正しい材料を選択いただく際に役立つよう、フィラーのタイプごとに示し、アウトガスを測定しています。図は、325°Cまで昇温した測定結果であり、Perlast材料の重量ロスを、競合材料であるFFKMと比較して示しています。
TGA曲線は、Perlast G67PとKimura K13Xの両方が、その動作温度範囲で、非常に低いアウトガス特性を持つことを示しています。アウトガス特性が低いため、ポンプダウン時間と、ダウンタイムが短縮します。